光刻机的对准系统的精度,对光刻机的芯片曝光有很大的影响
目前国内的对准系统研究的精度,勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
不过,要特别注明的一点就是,在欧美日,此时已经实现了光刻机上的自动对焦,而国内只能是手动对准
别人的光刻机,单位时间能曝光两百多块晶圆片,而国产的只能曝光十几块
这意味着我们自家生产的,只能在实验室里用用,无法投入到商业应用当中,不然,这成本就能拖死一家芯片加工厂
光刻机的对准系统的精度,对光刻机的芯片曝光有很大的影响
凡人修仙传:写在新书正式上传前的回忆! 发表于 2023-08-15 15:51:12目前国内的对准系统研究的精度,勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
修仙从沙漠开始:新书上架了,养书的书友给个首订吧! 发表于 2022-09-09 22:21:04不过,要特别注明的一点就是,在欧美日,此时已经实现了光刻机上的自动对焦,而国内只能是手动对准
王婿:第三千八百七十五章 谁比较大? 发表于 2024-06-08 13:11:53别人的光刻机,单位时间能曝光两百多块晶圆片,而国产的只能曝光十几块
规则系学霸:新书《从大学讲师到首席院士》 发表于 2022-06-16 12:31:54这意味着我们自家生产的,只能在实验室里用用,无法投入到商业应用当中,不然,这成本就能拖死一家芯片加工厂
江湖枭雄:完本感言 发表于 2021-09-03 10:04:52